XA/Fシリーズ
完全磁気浮上式STPターボ分子ポンプXAシリーズおよびFシリーズは複合翼回転翼を搭載し、更にスループットを向上させたハイフローターボ分子ポンプです。
特長
Fシリーズはウエーハの大口径化に伴うガス流量の増加に対し、高い信頼性を維持する為に開発されたターボ分子ポンプです。従来機種に比べて許容流量が３〜４倍にアップしたハイフローターボ分子ポンプです。
XAシリーズは更に高流量のご要求にお応えし、重いガスや軽いガス共に飛躍的に流量性能を向上させた最新型のターボ分子ポンプです。
製品用途
半導体／LCD製造装置（ドライエッチ、CVD、スパッタ、イオン注入）
製品仕様
| | STP-XA2703C | STP-XA3203C | STP-XA4503C |
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| ポンプ | 吸気口フランジ | JIS | VG250 | VG300 | GV350 |
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| ISO | ISO250 | ISO320 | |
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| 排気口フランジ | NW40 | NW40 |
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| 排気速度 L/s | N2 | 2,650 | 3,200 | 4,300 |
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| H2 | 2,050 | 2,300 | 2,500 |
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| 圧縮比 | N2 | > 108 | > 108 |
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| H2 | 6×103 | 6×103 |
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| 到達圧力 Pa | 107台 | 107台 |
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| 許容流量（水冷時） N2 | Pam3/s | 3.88 | 4.73 |
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| sccm | 2,300 | 2,800 |
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| 許容排気口圧力（水冷時） Pa | 266 | 266 |
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| 定格回転数 rpm | 27,500 | 24,000 |
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| 起動時間 min | 8 | 12 |
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| 停止時間 min | 8 | 12 |
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| 取付姿勢 | 自由 | 自由 |
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| 冷却方法 | 水冷 | 水冷 |
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| 重量 | 75 | 80 | 97 |
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| コントロールユニット | 型式 | SCU-1600 | SCU-1600 |
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| 入力電圧 V | 200〜240±10% | 200〜240±10% |
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| 入力周波数 Hz | 50/60±2 | 50/60±2 |
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| 入力相数 | 単相 | 単相 |
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| 入力電力（TMS無し最大） VA | 1,500 | 1,500 |
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| 入力電力（TMS有り最大） VA | 2,100 | 1,940 |
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| 重量 | 11 | 11 |
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| | 運転時許容周囲温度 ℃ | 0〜40 | 0〜40 |
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| 保管時許容周囲温度 ℃ | -25〜55 | -25〜55 |
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| 接続ケーブル長 m | ≦30 | ≦30 |
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注）
・TMS付は右記の型式となります。STP-XA2703CV, XA3203CV, XA4503CV
・排気速度・圧縮比は当社測定方法（JVIS準拠）によります。（VGフランジ使用時）
・許容流量・許容排気口圧力は連続的に使用可能な最大値を示します。（水冷時の値です。水冷以外の冷却方法で使用する場合は当社にご相談ください。）
・許容流量は補助ポンプ（最大排気速度1,300L/min）を用い、窒素ガスを連続的に排気した場合の値です。
・到達圧力は当社測定方法によります。（ベーキング後の到達圧力、VGフランジ、Oリングシール使用時）
| | STP-F2203C |
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| ポンプ | 吸気口フランジ | JIS | VG250 |
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| ISO | ISO250 |
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| 排気口フランジ | NW40 |
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| 排気速度 L/s | N2 | 2,200 |
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| H2 | 1,200 |
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| 圧縮比 | N2 | >108 |
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| H2 | >103 |
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| 到達圧力 Pa | 10-6台 |
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| 最大許容流量（水冷却） | N2 Pam3/s | 10.13 |
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| sccm | 6,000 |
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| 許容排気口圧力 Pa | 500 |
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| 定格回転速度 rpm | 27,000 |
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| 起動時間 min | 7 |
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| 停止時間 min | 8 |
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| 取付姿勢 | 自由 |
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| 冷却方法 | 水冷 |
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| 重量 kg | 61 |
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| コントロールユニット | 型式 | SCU-1600 |
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| 入力電圧 V | 200〜240±10％ |
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| 入力周波数 Hz | 50/60±2 |
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| 入力相数 | 単相 |
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| 入力電力（TMS無し最大） VA | 1,500 |
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| 入力電力（TMS有り最大） VA | 2,100 |
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| 重量 kg | 11 |
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| | 運転時許容周囲温度 ℃ | 0〜40 |
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| 保管時許容周囲温度 ℃ | -25〜55 |
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| 接続ケーブル長 m | ≦30 |
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