H/Aシリーズ

完全磁気浮上式STP ターボ分子ポンプH シリーズおよびAシリーズは、複合翼回転翼を搭載したハイスループット対応のターボ分子ポンプです。

特長

Hシリーズは中間流領域において、従来機種と比較し、約30％の性能向上をしています。（同一口径で約30％のパフォーマンスアップを達成しています。）
Aシリーズは300mmウェーハや1m角以上のガラス基板等の大型化に向けて、新たな提案を行ないます。このAシリーズはガス流量重視で開発され、お客様のプロセスを行なう領域において従来機種に対して50％のパフォーマンスアップを実現しています。現在、装置のコストダウン及びダウンサイジングも含めた提案を行なっていく機種です。

製品仕様

			STP-H301C	STP-H451C	STP-H803C	STP-H1303C
ポンプ	吸気口フランジ	JIS	VG100	VG150		VG200
		ISO	ISO100	ISO160		ISO200
		ICF	ICF152	ICF203		ICF253
	排気口フランジ		NW40
	排気速度　L/s	N₂	300	450	800	1,300
	排気速度　L/s	H₂	200	300	600	1,000
	圧縮比	N₂	>10⁸
	圧縮比	H₂	10³		10⁴
	到達圧力　Pa		10^-7台
	許容流量（水冷時）	N₂ sccm	2,500		1,800
	許容排気口圧力（水冷時）　Pa		660		270
	定格回転速度　rpm		48,000		32,500
	起動時間　min		4		7
	最大許容背圧　Pa		660	660	270	270
	取付姿勢		自由
	冷却方法		水冷・強制空冷・自然空冷
	質量　kg		15		39
コントロールユニット	型式		SCU-800
	入力電圧　V		100～120±10％ 200～240±10％		200～240±10％
	入力周波数　Hz		50/60±2
	入力相数		単相
	入力電力（TMS無し最大）　VA		600		850
	入力電力（TMS有り最大）　VA		800		1,200
	質量　kg		9		9
	運転時許容周囲温度　℃		0～40
	保管時許容周囲温度　℃		-25～55
	接続ケーブル長　m		≦30

			STP-A803C	STP-A1303C	STP-A1603C	STP-A2203C
ポンプ	吸気口フランジ	JIS	VG150	VG200		VG250
		ISO	ISO160	ISO200		ISO250
		ICF	ICF203	ICF253		ICF305
	排気口フランジ		NW40
	排気速度 L/s	N2	800	1,300	1,600	2,200
	排気速度 L/s	H2	520	800	1,200	1,700
	圧縮比	N2	>10⁸
	圧縮比	H2	10³		7×10³	2.5×10⁴
	到達圧力　　　　Pa		10^-7台			10^-6台
	許容流量（水冷時）	Pam3/s	2.53		4.22	2.53
	許容流量（水冷時）	sccm	1,500		2,500	1,500
	許容排気口圧力（水冷時）　Pa		270			400
	定格回転速度　rpm		32,500		36,500	27,000
	起動時間　min		7
	停止時間　min		8		9	8
	取付姿勢		自由
	冷却方法		水冷・強制空冷・自然空冷
	質量　kg		39		35	61
コントロールユニット	型式		SCU-800			SCU-1600
	入力電圧　V		200～240±10％
	入力周波数　Hz		50/60±2
	入力相数		単相
	入力電力（TMS無し最大）VA		850			1,500
	入力電力（TMS有り最大）VA		1,200			2,100
	質量　kg		9			11
	運転時許容周囲温度　℃		0～40
	保管時許容周囲温度　℃		-25～55
	接続ケーブル長　m		<30