iX/iXL/iXAシリーズ
次世代検査・分析・測定装置は高精度化が進みTMPに求められる要求が益々厳しくなっております。iXやiXLターボは400L/sクラスで超低振動と少スペースを実現しました。
また、iXA2205Cは半導体・LCD・ソーラーパネル製造装置用でコントロールユニット一体型の2000L/sクラスのターボ分子ポンプです。
特長
低振動
新開発MB技術（セルフセンシングMB）により振動をキャンセルおよび漏洩磁場を低減
安定性の向上
デジタル５軸制御磁気軸受の採用により、外部振動・衝撃に対する安定性を向上
省スペース
コントローラ一体型によりスペースを必要とする多芯接続ケーブルを排除
製品用途
電子顕微鏡、表面分析・検査装置、質量分析装置、加速器、リソグラフィ装置、MBE装置
製品仕様
| | STP-iX455 | STP-iXL455 | STP-iXA2205C |
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| 吸気口フランジ | VG100
ISO100
ICF152 | VG150
ISO160
ICF203 | VG100
ISO100 | VG150
ISO160 | お問い合わせください |
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| 排気口フランジ | NW25 | NW25 |
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| 排気速度 L/s | N2 | 300 | 450 | 300 | 380 |
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| H2 | 300 | 460 | 300 | 380 |
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| 圧縮比 | N2 | > 108 | > 108 |
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| H2 | 1×104 | 1×104 |
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| 到達圧力 Pa | 10-8台 | 10-6台 |
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| 許容吸気口圧力（自然冷却時） Pa | 0.13 | 0.13 |
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| 許容排気口圧力（自然冷却時） Pa | 67 | 67 |
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| 定格回転数 rpm | 55,000 | 55,000 |
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| 起動時間 分 | 6 | 6 |
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| 停止時間 分 | 8 | 8 |
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| 振動 μm0-p | < 0.01（55,000rpm） | < 0.001（55,000rpm） |
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| 取付姿勢 | 自由 | 自由 |
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| 冷却方法 | 自然空冷・強制空冷 | 自然空冷 |
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| 重量 kg | 16 | 16 |
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| 入力電圧 VDC | 48 | 48 |
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| 運転時許容周囲温度 ℃ | 0〜40 | 0〜40 |
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| 保管時許容周囲温度 ℃ | -25〜55 | -25〜55 |
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注）
・ケミカル仕様は右記の型式となります。 STP-iX455C
・排気速度・圧縮比は弊社測定方法（JVIS基準）によります。（ICFフランジ使用時、STP-iXL455はVGフランジ使用時）
・許容吸気口圧力・許容排気口圧力は連続的に使用可能な最大値を示します。（自然空冷時）
・許容吸気口圧力は補助ポンプ（最大排気速度1,300L/min）を用い、窒素ガスを連続的に排気した場合の値です。
・到達圧力は弊社測定方法によります。（ベーキング後、ICFフランジ、メタルシール使用時、STP-iXL455はVGフランジ、Oリングシール使用時）
