UHV/Lシリーズ
完全磁気浮上式STP ターボ分子ポンプUHV シリーズおよびLシリーズは、全翼回転翼を搭載した超高真空対応のターボ分子ポンプです。
特長
・UHVシリーズはクリーンバキュームを実現する超高真空対応ターボ分子ポンプです。
・Lシリーズはポンプから装置に伝わる振動を従来（当社比）の1/10に低減しました。防振ダンパーを取り付けたターボに比べ実効排気速度が向上し、コンパクトに設計されています。
製品用途
電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置、加速器、核融合実験装置、半導体製造装置（イオン注入、ドライエッチ、MBE）
製品仕様
| | STP-301 | STP-451 | STP-603 | STP-1003 |
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| ポンプ | 吸気口フランジ | JIS | VG100 | VG150 | VG200 |
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| ISO | ISO100 | ISO160 | ISO200 |
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| ICF | ICF152 | ICF203 | ICF253 |
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| 排気口フランジ | NW25 | NW40 |
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| 排気速度 L/s | N2 | 300 | 480 | 650 | 1,000 |
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| H2 | 300 | 460 | 550 | 800 |
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| 圧縮比 | N2 | >108 |
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| H2 | 2×104 | 105 |
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| 到達圧力 Pa | 10-8台 |
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| 許容吸気口圧力（自然空冷時） Pa | 6.7×10-2 | 1.3×10-2 |
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| 許容排気口圧力（自然空冷時） Pa | 13 |
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| 定格回転速度 rpm | 48,000 | 35,000 |
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| 起動時間 min | 3 | 6 |
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| 停止時間 min | 3 | 6 |
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| 最大許容背圧 Pa | 13 | 13 | 13 | 13 |
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| 取付姿勢 | 自由 |
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| 冷却方法 | 水冷・強制空冷・自然空冷 |
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| 質量 kg | 11 | 12 | 31 | 31 |
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| コントロールユニット | 型式 | SCU-301/451 | SCU-800 |
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| 入力電圧 V | 100〜120±10％ 200〜240±10％ |
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| 入力周波数 Hz | 50/60±2 |
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| 入力相数 | 単相 |
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| 入力電力（最大）VA | 550 | 800 |
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| 質量 kg | 7 | 9 |
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| | 運転時許容周囲温度 ℃ | 0〜40 |
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| 保管時許容周囲温度 ℃ | -25〜55 |
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| 接続ケーブル長 m | ≦30 |
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●ケミカル仕様は右記の型式となります。 STP-301C、451C、603C、1003C
●排気速度・圧縮比は弊社測定方法（JVIS準拠）によります。（ICFフランジ使用時）
●許容吸気口圧力・許容排気口圧力は連続的に使用可能な最大値を示します。（自然空冷時の値）
●許容吸気口圧力は補助ポンプ（最大排気速度240L/min）を用い、窒素ガスを連続的に排気した場合の値です。
●到達圧力は弊社測定方法によります。（ベーキング後の到達圧力・ICFフランジメタルシール使用時）
| | STP-L301 | STP-L451 |
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| ポンプ | 吸気口フランジ | JIS | VG100 | VG150 |
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| ISO | ISO100 | ISO160 |
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| 排気口フランジ | NW25 |
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| 排気速度L/s | N2 | 260 | 450 |
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| He | 260 | 460 |
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| H2 | 290 | 410 |
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| 圧縮比 | N2 | >108 |
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| He | 5×105 |
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| H2 | 2×104 |
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| 到達圧力 Pa | 10-6台 |
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| 許容吸気口圧力（自然空冷時） Pa | 6.7×10-2 |
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| 許容排気口圧力（自然空冷時） Pa | 13 |
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| 定格回転速度 rpm | 48,000 |
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| 起動時間 min | 3 |
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| 停止時間 min | 3 |
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| 振動 μm 0−p | <0.001（at 48,000 rpm） |
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| 取付姿勢 | 自由 |
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| 冷却方法 | 自然冷却 |
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| 質量 kg | 13 | 14 |
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| コントロールユニット | 型式 | SCU-L301/L451 |
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| 入力電圧 V | 100〜120±10％ 200〜240±10％ |
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| 入力周波数 Hz | 50/60±2 |
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| 入力相数 | 単相 |
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| 入力電力（最大） VA | 550 |
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| 質量 kg | 7 |
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| | 運転時許容周囲温度 ℃ | 0〜40 |
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| 保管時許容周囲温度 ℃ | -25〜55 |
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| 接続ケーブル長 m | ≦30 |
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