ターボ分子ポンプ EXTシリーズ
磁気ベアリングとセラミックボールベアリングという2種類の基本技術が採用されています。従来型スチールベアリングの代わりに、グリースまたはオイルによって寿命が尽きるまでの潤滑が確保されているセラミックベアリングが採用されました。シリコン窒化物製セラミックボールは、スチール製のものと比較して軽量、硬質、円滑のため、長寿命と低振動特性が実現しました。ボールとレースの素材が異なるため、マイクロピットの発生が防がれ、信頼性が向上しています。
磁気ベアリングは信頼性の向上にさらに寄与します。70〜250 L/sまでの弊社のEXTターボ分子ポンプは、永久磁石製上部ベアリングとオイルで潤滑された下部セラミックベアリングから成るハイブリッドベアリング構造を備えています。
特長
オイルフリー
ターボ分子ポンプからのハイドロカーボンの汚染が無い
ローメンテナンス
ベアリングが無接点のために機械的な摩耗が無い
低振動
一般的に従来型ベアリングと比較して10分の1
冷却の必要性が低い
多くのアプリケーションでは大気による冷却で十分
取り付け姿勢
EXT250Mはいかなる姿勢にも据え付け可能。（その他のEXTポンプは垂直上向きから水平方向まで）
電源不良時にはDCモータによる発電で、ベントバルブを数分間閉じた状態で維持します。（EXT250Mの場合は磁気ベアリングの安全なランダウンを確保する為に）
製品用途
理化学用分析機器、LCMS、GCMS、SEM、その他高真空排気用
製品仕様
| 型式 | EXT75DX | EXT255DX |
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| 吸気フランジ | NW40 | ISO63 | ISO100 | 63CF | ISO100 | 100CF |
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| 排気速度 L/s *1 | N2 | 42 | 61 | 66 | 61 | 220 | 220 |
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| He | 49 | 57 | 59 | 57 | 230 | 230 |
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| H2 | 48 | 53 | 54 | 53 | 180 | 180 |
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| 到達圧力 Pa *2 | <5×10-7 | <5×10-8 | <5×10-7 | <5×10-8 |
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| 重量 kg | 2.9 | 3 | 3.2 | 4.9 | 6.25 | 8.6 |
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| 圧縮比 | N2 | >1×1011 | >1×108 |
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| He | 1×108 | 4×105 |
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| H2 | 5×104 | 1.6×104 |
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| 排気フランジ | NW16 | NW25 |
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| ベアリング形式 | 上部 | 磁気浮上式 | 磁気浮上式 |
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| 下部 | セラミックボール | セラミックボール |
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| 最小背圧ポンプ速度 L/min *3 | 13（E2M0.7） | 55（RV3） |
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| ベントポート | 1/8インチBSPメス | 1/8インチBSPメス |
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| パージポート | 1/8インチBSPメス | 1/8インチBSPメス |
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| 最大連続吸気圧 Pa *4 | 冷却水使用 15℃ | 2 | 0.5 |
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| エアクーラ使用 35℃ | 1 | 0.5 |
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| 公称回転速度 rpm | 90,000 | 60,000 |
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| スタンバイモード rpm | 49,500〜90,000（可変） | 33,000〜60,000 |
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| 起動時間（90％まで） 秒 *1 | 110 | 80 |
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| 冷却方法 | 強制空冷、水冷 | 強制空冷、水冷 |
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運転時の外気温度範囲 ℃
エアクーラ使用 | 5〜35 | 5〜35 |
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| 冷却水温度範囲 ℃ | 10〜20℃ | 10〜20℃ |
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| 最小冷却水量（15℃）L/h | 15 | 15 |
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| 取付方向 | 垂直上向きから水平方向 | 垂直上向きから水平方向 |
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| 最大磁場漏洩量 mT | 5 | 5 |
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| 推奨コントローラ型式 | TIC100W | TIC200W |
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| 無負荷時消費電力 W | 10 | 25 |
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| | EXT255H（i） |
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| 吸気フランジ | ISO100 | 100CF |
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| 排気速度（L/s）*1 | N2 | 220 |
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| He | 230 |
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| H2 | 180 |
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| 到達圧力（Pa）*2 | <5×10-7 | <5×10-8 |
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| 重量（kg） | 5.6 | 8.2 |
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| 圧縮比 | N2 | >1×108 |
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| He | 4×105 |
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| H2 | 1.6×104 |
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| 排気フランジ | NW25 |
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| ベアリング形式 | 上部 | 磁気浮上式 |
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| 下部 | セラミックボール |
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| 最小背圧ポンプ速度（L/min）*3 | 55（RV3） |
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| ベントポート | 1/8インチBSPメス |
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| パージポート | 1/8インチBSPメス |
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| 最大連続吸気圧（Pa）*4 | 冷却水使用（15℃） | 20 |
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| エアクーラ使用（35℃） | 2 |
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| 自然対流（30℃） | ― |
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| 臨界背圧（Pa） | 1,200 |
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| 公称回転速度（rpm） | 60,000 |
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| スタンバイモード（rpm） | 42,000 |
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| 起動時間（90％まで）（秒） | 130 |
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| 冷却方法 | 強制空冷、水冷 |
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| 運転時の外気温度範囲（℃） | 自然対流 | ― |
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| エアクーラ使用 | 0〜35 |
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| 冷却水温度範囲（℃） | 10〜20℃ |
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| 最小冷却水量（15℃）（L/h） | 15 |
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| 取付方向 | 垂直上向きから水平方向 |
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| 最大磁場漏洩量（mT） | 5 |
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| 推奨コントローラ型式 | EXC100, EXC120またはEXC300 |
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| 無負荷時消費電力（W） | 25 |
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*1 インレットスクリーンなしの値で、スクリーン付きの場合の速度は約10％低下します。
*2 到達圧は48時間ベーク後の測定値です。
*3 スループットを最大にする時は、より大きな背圧ポンプが必要となります。
*4 この圧力以上では公称回転数には達しません。
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