新型 ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ
理科学分野向けnEXTターボ分子ポンプは、性能、信頼性およびユーザーでの使いやすさを提供する最高レベルの新型ターボ分子ポンプです。
特長
・永久磁石とオイルベアリングの組合せ
・優れたメンテナンス性で低コストのメンテナンスが可能
・コントローラを内蔵
・3種類の排気速度を準備（240, 300, 400L/min）
・それぞれDバージョンとTバージョンのステージを準備
・Dバージョン：タービンステージとドラッグステージを備え高い背圧特性を実現
・Tバージョン：Dバージョン＋リジェネレーションステージを備え優れた圧縮特性とシステムの合理化を実現する為のブースト機能を搭載
製品仕様
| | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 |
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| インレットフランジ | ISO100K
100CF | ISO100K
100CF | ISO160K
160CF |
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| 排気速度 L/sec | N2 | 240 | 300 | 400 |
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| He | 230 | 340 | 390 |
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| H2 | 165 | 280 | 325 |
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| 圧縮比 (D) | N2 | ＞1X1011 | ＞1X1011 | ＞1X1011 |
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| He | 3X105 | 3X106 | 3X108 |
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| H2 | 1X104 | 5X104 | 5X105 |
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| 圧縮比 (T) | N2 | ＞1X1011 | ＞1X1011 | ＞1X1011 |
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| He | 1X106 | 3X106 | 1X108 |
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| H2 | 1.5X104 | 1X105 | 1X106 |
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| インターステージ排気速度 L/sec | N2 | 13 | 13 | 13 |
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| He | 13 | 13 | 13 |
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| H2 | 11 | 11 | 11 |
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| 背圧／インターステージ*1／ブーストポート*2 | NW25 | NW25 | NW25 |
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| ベント／パージポート | 1/8 BSP | 1/8 BSP | 1/8 BSP |
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| 臨界背圧（D) Pa | 950 | 950 | 1,000 |
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| 臨界背圧（T) Pa | 2,000 | 2,000 | 2,000 |
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| 連続最大吸気流量 窒素sccm 水冷時（外気温40℃） | 45 | 95 | 105 |
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| 連続最大吸気流量 窒素sccm 強制空冷時（外気温35℃） | 30 | 115 | 90 |
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| 連続最大吸気流量 窒素sccm 強制空冷時（外気温30℃） | 10 | 35 | 45 |
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| 連続最大背圧Pa 水冷時（外気温40℃） | 6 | 6.8 | 7.5 |
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| 連続最大背圧 Pa 強制空冷時（外気温35℃） | 4.8 | 7 | 7.5 |
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| 連続最大背圧 Pa 自然空冷時（外気温30℃） | 1 | 2.8 | 4 |
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| 推奨背圧ポンプ*3 | RV12 / XDS10 | RV12 / XDS10 | RV12 / XDS10 |
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| 最大ブースト速度 （Tタイプ） RV12使用時 m3/h (L/min) | N2 | 26（433） | 26（433） | 26（433） |
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| 最大ブースト速度 （Tタイプ） XDS10使用時 m3/h (L/min) | N2 | 24（400） | 24（400） | 24（400） |
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| ノーマル回転速度 rpm | 60,000 | 60,000 | 60,000 |
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| 90％速度までの起動時間 D(T) sec | 115（150） | 145（190） | 180（210） |
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| ノイズレベル（機側 1m）dB(A) | < 45（±3） | < 45（±3） | < 45（±3） |
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| 重量 D(T)kg | ISO | 5.7（6） | 5.7（6） | 6.5（6.8） |
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| CF | 8.8（9.1） | 8.5（8.8） | 9.5(9.8) |
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