ロータリーポンプ

当社の直結型ロータリポンプは、排気速度15L/minから5000 L/minまでの幅広いレンジを揃えています。当社は近代的量産設備のコンピュータコントロールマシニングセンターを備え、部品製作から中間検査・組立・最終検査まで一貫したプロセスで行い、常に信頼性の高いポンプを世界各国に供給しています。

小型RVシリーズ

種類が豊富で頑丈なRVポンプは、良好な排気速度で卓越した到達真空度を実現します。RVポンプは静かな動作で、優れた水蒸気の排出処理能力をも発揮します。

電子顕微鏡、質量分析、残留ガス分析、真空オーブン、その他真空排気

強制給油方式を採用した小型EMシリーズは多くの納入実績でその性能が実証されています。排気速度は0.7～1.5 m³/hおよび18～28 m³/h相当の4機種です。また、E2M18とE2M28/30には腐蝕性プロセスガス対応のフッ素オイル（Fタイプ）仕様もあります。

電子顕微鏡、質量分析、残留ガス分析、ラボ用真空排気

強制給油方式を採用したEMシリーズは堅牢で工業用排気ポンプとして多くの実績を築いてまいりました。シリーズは40～175 m³/h相当の4機種です。また、腐蝕性プロセスガス対応のフッ素オイル（Fタイプ）仕様もあります。

薄膜コーティング、真空蒸留、真空冶金、凍結乾燥、結晶成長、宇宙シュミレーション

貴社のシステムに適したポンプおよびアクセサリを選択する際の主な目的は、ポンプの寿命を延ばし、安全に作動させることと、性能を最大限に引き出した状態でシステムの運転を継続させることです。