モノブロックロータとハイブリッドベアリング機構を採用した科学分野向けターブ分子ポンプです。

用途

理化学用分析機器、LCMS、GCMS、SEM、その他高真空排気用

EXTターボ・ポンプの電源供給と制御を行います。総合的なインターフェースとアクセサリ・インターロックによって監視と管理機能が実現されます。

様々な真空アプリケーションにおける貴社ポンプの作動を最適化するように設計された広範なアクセサリになります。ベント・コントロール、冷却、およびシステム保護用機器などをご用意しております。