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計測機器用途でのオイルレス真空排気を容易にした、ベストセラースクロールポンプです。 |
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排気機構に潤滑油を使用していない為、清浄な真空が得られます。
ダブルラップスクロールの採用で動的に非常に安定しており、大気圧〜到達圧力まで幅広い圧力領域に対応できます。大気・真空の繰り返し連続運転にも可能です。
走査型電子顕微鏡、スパッタリング装置、蒸着装置、真空溶解炉・真空熱処理炉、表面改質装置・真空熱処理炉、ヘリウムリークディテクタ、理化学実験用・分析機器用、ガス循環・回収装置用
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ESDP12 |
ESDP30B |
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設計排気速度（L/min） |
50Hz |
250 |
500 |
|---|---|---|---|
60Hz |
300 |
600 |
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実効排気速度（L/min） |
50Hz |
208 |
417 |
60Hz |
250 |
500 |
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到達圧力（Pa） |
1.6 |
1 |
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吸気接続 |
NW25 |
NW40 |
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排気接続 |
NW16 |
NW25 |
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最大許容水蒸気圧（Pa） |
― |
― |
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最大水蒸気処理量（g/h） |
― |
― |
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供給電圧（V） |
単相 |
100-115/200-230 |
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三相 |
200-230/380-460 |
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モータ出力（kW） |
0.4 |
0.6 |
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ガスバラスト |
有り（12Bのみ） |
有り |
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使用温度範囲（℃） |
5〜40 |
5〜40 |
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重量（kg） |
25 |
46 |
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