完全にドライなXDSスクロール・ポンプは、多くの真空作業で従来型のロータリポンプにとって変わりつつあります。3機種の排気速度のものが取り揃えられています。

用途

走査型電子顕微鏡、イオンインプランタ（ビームラインおよびエンドステーション）、スパッタリング装置、蒸着装置、真空溶解路・真空熱処理炉、表面改質装置・真空熱処理炉、ヘリウムリークディテクタ、理化学実験用・分析機器用、ガス循環・回収装置用

計測機器用途でのオイルレス真空排気を容易にした、ベストセラースクロールポンプです。

用途

走査型電子顕微鏡、スパッタリング装置、蒸着装置、真空溶解路・真空熱処理炉、表面改質装置・真空熱処理炉、ヘリウムリークディテクタ、理化学実験用・分析機器用、ガス循環・回収装置用

必要に応じ各種アクセサリと予備部品を準備しています。