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理科学用アプリケーションまたはラボにおけるオイルレス真空排気のために最適化したエドワーズ製の新型スクロールポンプです。特許を取得したベアリングシールドを採用しており、その革新的な構造により、真空環境をあらゆる潤滑油から隔離して完全にドライの状態を保つだけでなく、ベアリングをあらゆるプロセスガスから保護します。調整式ガスバラストによって水蒸気の処理が可能となり、従来では不適切であったアプリケーションにスクロールポンプを使用できるようになりました。 |
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排気機構に潤滑油を使用せず、清浄な真空が得られます。
シンプルな構造ですので短時間で分解、組立が出来ます。また、オイルを使用していないのでクリーンなメンテナンス環境が得られます。
真空環境からベアリングを完全に遮断されており、水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。
走査型電子顕微鏡、スパッタリング装置、蒸着装置、真空溶解炉・真空熱処理炉、表面改質装置・真空熱処理炉、ヘリウムリークディテクタ、理化学実験用・分析機器用、ガス循環・回収装置用
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XDS5 |
XDS10 |
XDS35i |
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最大排気速度L/min |
50Hz |
80 |
155 |
583 |
|---|---|---|---|---|
60Hz |
100 |
185 |
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到達圧力Pa |
7 |
7 |
1 |
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吸気接続 |
NW25 |
NW25 |
NW40 |
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排気接続 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
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供給電源単相V |
100/200 |
100/200 |
100-120/200-230 |
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モータ出力kW |
0.3 |
0.3 |
0.52 |
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ガスバラスト |
3段切替（0、Ⅰ、Ⅱ） |
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使用温度範囲℃ |
5～40 |
5～40 |
10～40 |
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重量kg |
23 |
24.5 |
48 |
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