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拡散ポンプ

当社の拡散ポンプは多様なポンプとアクセサリを取り揃えている為、広範なアプリケーションに適します。科学分野向け小型拡散ポンプは、計測機器や一般的な研究開発用に設計されています。工業用HTシリーズは真空冶金、蒸留、コーティングなどのアプリケーションに最適です。

ディフスタックシリーズ

ディフスタック拡散ポンプは、特許取得済みの一体逆流防止バッフルを独自の小型拡散ポンプに収めたものです。ターボ・ポンプの価格の数分の一でよりクリーンな真空を実現します。

用途

質量分析、ガス分析、漏れ検出、薄膜コーティング、高真空システム、ランプの真空排気、表面物理、小型真空オーブン、真空絶縁/低温搬送

EOシリーズ

長年の実績がある頑強な標準拡散ポンプです。科学/研究開発分野の過酷なアプリケーションに理想的です。タイプはEO2K、EO4K、EO6Kの3種類で、空冷式もあります。

用途

質量分析、ガス分析、漏れ検出、薄膜コーティング、高真空システム

HTシリーズ

高いスループットを実現した工業用拡散ポンプです。ポンプ上部内蔵した独自の冷却バッフルはオイルの逆拡散を低減し、よりクリーンな真空と優れた到達圧を実現します。

用途

真空冶金、蒸留、乾燥、脱ガス、真空蒸着、その他

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