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完全磁気浮上式STP ターボ分子ポンプUHVおよびL シリーズは、全翼回転翼を搭載した超高真空対応のターボ分子ポンプです。 用途電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置、加速器、核融合実験装置、半導体製造装置（イオン注入、ドライエッチ、MBE） |
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完全磁気浮上式STP ターボ分子ポンプH およびAシリーズは、複合翼回転翼を搭載したハイスループット対応のターボ分子ポンプです。 用途半導体／LCD製造装置（ドライエッチ、CVD、スパッタ、イオン注入） |
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最大流量を同等クラスTMPの3〜4倍にし、ウエーハの大口径化によるガス流量の増加に対応したハイフローターボ分子ポンプです。STP-FやXAシリーズ はポンプ台数減少による真空部品の削減、クリーニング時のバイパスライン削減によるパーティクル発生防止が可能となり、低コストオブオーナーシップにお応えします。 用途半導体／LCD製造装置（ドライエッチ、CVD、スパッタ、イオン注入） |
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低振動と少スペース化を追求したコントローラ一体型の最新型磁気浮上ターボです。 用途電子顕微鏡、表面分析・検査装置、質量分析装置、加速器、MBE装置 |
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