当社は真空計測機器と制御製品分野において広範囲な各種真空ゲージとコントローラを取り揃えております。真空計測のみならず、ターボ分子ポンプも同時に制御するコントローラ(TIC)も新たにシリーズ化されました。
明るい大画面表示で最大3種類の真空ゲージの接続が可能です。オプションでEXTターボを接続制御できるタイプもあります。また、PCとの接続で集中監視が可能で、真空計のガス種による補正機能を持っています。
各種アクティブゲージのディスプレィとしてAGDとADDを準備しています。AGDはアナログ表示で同じゲージを2個接続可能でそれぞれに対応した機種があります。ADDはデジタル表示でバローセルまたはストレインゲージに対応します。
大気圧から10-2Paまでの測定に対応します。OEMアプリケーション用セットポイントを標準で内蔵しています。標準のAPG、リニア出力タイプのAPGX、対流式で高圧力域での精度が高く、リニア出力タイプのAPGX-Hの各シリーズがあります。
1Paから10-7Paまでの測定に対応します。OEMアプリケーション用セットポイントを内蔵しています。標準のAIMおよびリニア出力タイプのAIM-Xのシリーズがあります。また、低外部磁場漏洩バージョンもあります。
6,500Paから10-1Paまでの測定に対応します。OEMアプリケーション用セットポイントを内蔵しています。電気モジュールとセンサー部に分かれておりセンサー部は高圧用(6,500〜6.5Pa)と低圧用(130〜0.13Pa)が有ります。
200kPaから100Paまでの測定に対応します。この種のゲージは極めて丈夫であり、ガスに依存せず正確な圧力測定が出来ます。200kPaおよび100kPaフルスケールの2種類があります。