ドライポンプ

ターボ分子ポンプ 磁気浮上式

ターボ分子ポンプ オイルベアリング式

• GXSシリーズ
• iXHシリーズ
• iGXシリーズ
• iHシリーズ
• GVシリーズ

• iXAシリーズ
• iX/iXLシリーズ
• UHV/Lシリーズ
• H/Aシリーズ
• XA/Fシリーズ

• 新型 ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ
• ターボ分子ポンプ　EXTシリーズ
• ターボコントローラ

ロータリーポンプ

スクロールポンプ

メカニカルブースタポンプ

• 小型RVシリーズ
• 小型EMシリーズ
• 中大型EMシリーズ
• アクセサリおよび予備部品

• nXDSスクロールポンプ
• XDSシリーズ
• ESDP/GVSPシリーズ

• EHシリーズ

拡散ポンプ

• ディフスタックシリーズ
• 大流量HTシリーズ

除害装置

• 燃焼式　排ガス処理装置　Atlas-TPU
• 燃焼式　排ガス処理装置　Atlas-Kronis
• 燃焼式　排ガス処理装置　Atlas-Helios
• 排ガス処理装置　プラズマ式　Sirius
• Spectra Z 大流量排ガス処理装置
• 統合式排気・排ガス処理装置　Zenith
• 統合式排気・排ガス処理装置　Sirius Zenith

真空計

• TICコントローラ
• AGD/ADDコントローラ
• ピラニ真空計
• マグネトロン真空計
• サーモカップル真空計
• ストレイン（ひずみ）真空計

真空バルブ

• ダイヤフラムバルブ
• ベローズバルブ　手動式
• ベローズバルブ　空圧式
• ベローズバルブ　電磁式
• ボールバルブ
• リークバルブ

配管・クランプ

• クランプ
• シール
• ベローズ配管
• NW配管

ドライおよびロータリポンプ

ターボおよび拡散ポンプ

除害装置

• ドライポンプのテクノロジ
• 小型ポンプQ＆A
• 産業用ポンプアクセサリガイド
• メカニカルブースタポンプの概要

• 半導体プロセス用 除害装置
• STP磁気浮上ターボ分子ポンプ
• EXTターボ分子ポンプおよびコントローラ
• 拡散ポンプ

• 除害装置

真空ゲージ

バルブフィッティング

選定ガイドおよび換算表

• 真空ゲージの選定

• 真空システム用バルブ
• フランジおよびフィッティングの概要

• ポンプおよび配管選定用ガイド
• 換算表