ワールドワイドサポート
・ISO、Pneurop、英国基準といった国際基準に準拠
・あらゆる汎用サイズのアルミ製／ステンレス製パーツを完備
・耐蝕性に優れたSUS316Lステンレス製継手を製造
・高精度の素材管理によりガス放出が抑えられ、信頼性のある真空性能を実現
・10-10Pam3/sまでの漏れテスト実施済み
当社はフランジ及びフィッティングをはじめ、すぐれたサービスとサポートをご提供致します。
装置メーカーであれ、独自のシステムのメーカーであれ、お客様のあらゆるニーズにお応えします。
70年の実績と経験
真空技術におけるトップメーカーとして当社の長年にわたる経験と実績が、お客様の多様なニーズにマッチした最良の製品とソリューションをお届けします。
トータルクオリティ
・ISO9001認証取得
・ISO14001認証取得
・顧客と契約した性能測定基準を採用
NW／ISOフランジ継手
お客様のアプリケーションと予算に合った最適な製品をお選びください。 アルミ製は10-5 Paまでのアプリケーションで信頼性と費用効果に優れた性能を実現する際に理想的です。
当社は、半導体処理における強力な耐蝕性と高真空アプリケーションにおける卓越した反復性を実現するために、ステンレス製継手も供給しています。さらに、エラストマの仕様に関して慎重な品質管理を行っているため、重要なシーリング用素材はお客様の真空システムの性能が依存する、低ガス放出性能を発揮します。あらゆる仕様の細部まで検討されているため、当社のパーツはいったんお客様の真空機器に取り付けてしまえば、忘れてしまって構わないほど高い信頼性を持っています。
シール原理
銅製シールはCFフランジ間で軸方向と遠心方向に圧縮されており、刃先の力によって押し付けられています。これにより高い圧力がかかり、表面の凹凸を埋める垂直のフランジ壁によって大きく制限され、漏れのないジョイントが形成されています。
高いベーキング温度では、フランジのジオメトリがガスケットの軟化にもかかわらず高圧の内圧を維持します。遠心方向の溝はシールリングにまで達し、真空接続部の漏れをテストができるようになっています。
材質
当社のCFフランジはAISI304ステンレス製であり、手頃な価格で最高の性能を発揮します。ステンレススチール304は、450℃までのベーキング温度が要求される大半のUHVアプリケーションに使用されています。AISI316LNステンレススチールは、より硬質な素材、より高温のベーキング温度、およびはるかに低い透磁率が要求される特別なアプリケーション用にお勧めしています。こうした継手は、特注ベースで供給されます。
寸法
当社のCFフランジは、国際基準に適合するように製造され、あらゆる主要メーカーと互換性を有しています。欧州とアジアで一般的なメトリックフランジでは、メトリックチューブに適したメートル法によるねじ穴と中ぐり穴がフランジに開けられています。米国でより一般的に使用されているインチによるフランジでは、サイズがインチで表示されているチューブと互換性のあるUNFに準拠したフランジねじ山と中ぐり穴が採用されています。当社は両方の種類を揃えています。
NWポリマクランプ
従来型のアルミ製ヒンジクランプの他に、ハイテクポリマ製の様々なカップリング･クランプを販売しており、真空システムの製造メーカーにとっても大きなメリットとなります。
アルミ製と比較して曲げ弾性率が高く、強度対重量比が優れているため、当社は上記の素材を用いて、既存のアルミ製製品よりも軽量かつコンパクトなクランプを製造することができました。CX4結晶アリルポリマ製クランプは、120 ℃までの温度に使用可能で、ほとんどの汎用溶剤に影響されません。
こうしたクランプは安価で、高品質の仕上げによっていかなる真空システムの外観も高めます。 以下のフランジサイズを網羅するスィングクランプおよびヒンジクランプが取り揃えられています−NW10/16、NW20/25、NW25/32、NW32/40、およびNW50。
当社のコーシール、スィングクランプは、1.7 MPa〜10-5 Paの圧力レンジ用に適しています。さらにこれらは、内蔵アースストリップによってクランプ内の電導性が確保されています。
コーシール
当社の特許取得済み*コーシールは、NWおよびISOフランジ接続部のシールを大きく飛躍させました。 あるユーザーでは、凹部とトラップ容積を不要にしたこのシール構造の利点を評価しています。 当社のポリマキャリア付きNWコーシールは、さらに広範なユーザーにアピールする、より経済的なシールです。
コーシールには分割されたアウタリングすなわちキャリアが付属し、それが成型エラストマシールリングを保持しています。取り付け状態でコーシール内側面が直接真空システムにさらされるため、ガスバーストの発生やポンプ立上げ時の流量抵抗につながるおそれのある凹部またはトラップ容積が不要になります。一般的なセンタリングとは異なり、NWコーシールは外側が完全にガイドされているため、10-6Pa〜1.7 MPaまでの圧力に適します。ニトリル製またはフルオロエラストマ製シールと共に供給されます。
ISOボルト付けフランジでは、固定ボルトがコーシールを正確に中央揃えするようコーシール外周の切り欠き部の位置が決められています。 ISOカラーフランジでは、クロークランプもシールを中央揃えする役割を果たし、コーシール内の切り欠き部によってクロークランプ自体もフランジ周囲に間隔を置いて配置されるようになっています。
ハイテクポリマ製センタリング
当社では、アルミ製の他にハイテクポリマ製センタリングも取り揃えております。それらのセンタリングは、ガスバーストを防ぐ独自のスロット付き構造を有しています。CX2ポリマは、120 ℃までの温度に使用でき、大半の汎用溶剤に影響されません。この素材のガス放出率は6.6×10-9Pam3/s cm2のため、大半の真空システムに適するだけでなく、軽量化と費用低減面でより一層の優位性をもたらします。
