当社のメカニカルブースタポンプとロータリポンプを広範なアクセサリ群と共に使用すると、性能と信頼性が向上します。以下の項目は、お客様のアプリケーションに適したアクセサリを選択する上でのガイドとなるでしょう。ただし、以下の情報はあくまでも参考用として利用してください。構成部品の最終的な選択は、お客様の真空システムの作動とプロセスの副生成物によって影響されるおそれがあるためです。ご質問またはお問い合わせは、当社または最寄りの販売代理店にご相談ください。
お客様のシステムに適したポンプおよびアクセサリを選択する際の主な目的は、ポンプの寿命を延ばし、安全に作動させることと、性能を最大限に引き出した状態でシステムの運転を継続させることです。そのためには、プロセス媒体とポンプに損傷を及ぼす可能性のあるプロセス副生成物（ベーパ、液状物質、微粒子等）にシステムが対処できるよう対策を講じるべきです。同時に、システムから大気へ放出される物質が環境や付近の人々の害にならないように配慮する必要もあります。
微粒子の捕捉
いかなるアプリケーションにおいても、まずプロセス排気に伴う微粒子をポンプに流入する前に捕捉する対策が必要です。ロータリポンプおよびドライポンプとの使用に適したITMまたはITFインレットダストフィルタを使用してください。ただし、大量の微粒子を発生するか、含むプロセスでは、その一部がポンプに流入します。そうしたアプリケーションでロータリポンプを使用する場合は、当社のEOF外部オイルフィルタを用いて運転中にポンプオイルから微粒子を除去してください。
ITFインレットダストフィルタ
メカニカルポンプを拡散ポンプ用の補助ポンプに使用する場合は、拡散ポンプは通常運転中に微粒子を捕捉しますが、プロセスの粗引き段階では微粒子は捕集しません。メカニカルポンプ・インレット（すなわちフォアライン）にITFフィルタを取り付けることをお勧めします。このフィルタには交換式エレメントが付属しています。クリーンなフィルタの抵抗によって排気速度は、100Paの時に約10％、1Paの時に約20%低下する点に注意してください。ITFフィルタは、BS2831に準拠した試験の結果が96%を超える優れた捕捉性能を持っています。
ITM大容量インレットダストフィルタ
大量の塵と微粒子が発生するアプリケーションでは、ITMダストフィルタを使用してください。ITMはロータリポンプまたはメカニカルブースタポンプのインレットに直接取り付けます。ITMダストフィルタには洗浄し、再使用が可能なステンレススチール製メッシュエレメントが付属しています。このフィルタは、拡散ポンプの補助用に使用するか、ペーパフィルタが短時間で目詰まりするおそれのあるウェットプロセスに使用するのが理想的です。ITMダストフィルタはコンダクタンスが高いため、迅速なポンプ立ち上げが必要なアプリケーションに理想的です。ITMダストフィルタは90 %の効率を発揮します（BS3831に準拠した試験による）。
EOF外部オイルフィルタ
EOFフィルタは、ポンプオイル内に混入した微粒子を除去するために、EMシリーズロータリポンプと共に使用します。EOFフィルタには以下の2種類があります。
EOF-AおよびEOF-Mフィルタは、ポンプの内部加圧オイルシステムを用いてポンプオイルの一部を連続的に濾過します。それらのフィルタはハイドロカーボンオイル専用です。EOF-Mフィルタは0.5ミクロンまでの微粒子を除去し、EOF-Aフィルタは微粒子を除去するだけに留まらず、酸性および他の腐蝕性汚染物をオイルから除去するための活性元素を含んでいます。
EOFポンプ式外部オイルフィルタには専用の再循環ポンプが付属しています。この再循環ポンプは流量が大きく、大量のオイルを濾過することができます。このフィルタには交換時期を示すゲージが付属し、ハイドロカーボンオイルおよびPFPEオイルに適しています。
ベーパの排気
ガスバラストを用いると、ロータリポンプのベーパ処理能力は大幅に改善されます。ガスバラストの効果を高める数々のアクセサリが取り揃えられています。
EBVガスバラスト制御バルブ
EBVガスバラスト制御バルブは、ガスバラストの遠隔制御または自動制御を実現するために取り付けます。
TCV温度制御バルブ
より大型のロータリポンプのベーパ排気性能は、TCVを取り付けると向上します。TCVはポンプの暖機時間を短縮させ（その結果、ポンプ内の凝縮を軽減）、冷却水の使用量とコストを低減する目的に使用します。
ITCインレットケミカルトラップ
ITCトラップはポンプのインレットに取り付けます。このトラップは、ポンプを腐蝕させるか、オイルを劣化させるおそれのある腐蝕性プロセスベーパに対して保護性能を発揮します。
液体の捕捉
ガスバラストを用いると、ロータリポンプは大量のベーパ処理能力を得ます。しかしながら、ロータリポンプは液体流を排出することはできないため、ポンプインレットに達する前に液体を除去するだけでなく、凝縮した液体がポンプアウトレットに逆流するのを防ぐ必要があります。お客様のアプリケーションには以下のアクセサリが適切な可能性があります。
ITOインレットトラップ
ITOインレットトラップは、プロセス内の液体がポンプインレットに流入するプロセスに理想的です。ITOトラップはポンプインレットまたはフォアラインの任意の箇所に取り付けます。
CPキャッチポット
ポンプを通過するプロセスベーパは、ポンプアウトレット後に排気ラインで凝縮することがあります。凝縮物を捕捉し、それらがポンプに逆流するのを防ぐために、CPキャッチポットをアウトレットに取り付けます。
排気の制御
ポンプアウトレットから排出されるガスとベーパの影響を最小限に食い止めることを目標とすべきです。当社は、非常に過酷なアプリケーション用の排気制御システムを取り揃えております。しかしながら、ロータリポンプを用いる大半の標準的なアプリケーションでは、オイルミストフィルタをポンプアウトレットに取り付けてオイルミストを除去することをお勧めします。排気ガスを遠隔排気するか、排気スクラバに通す場合には、ミストフィルタは不要です。
MFオイルミストフィルタ
MFフィルタはロータリポンプのアウトレットから排出されたプロセスガスからオイルミスト（ベーパ）を除去します。これらのフィルタは臭気とオイルベーパを取り除いて、それらが大気や職場内に達するのを防ぎます。
逆拡散
到達真空度付近で長時間の運転を行うと、ロータリポンプはオイルベーパをプロセスチャンバへ逆拡散させます。オイルベーパの逆拡散はお客様のプロセスまたは真空システムを汚染させるおそれがあります。
ITCインレットケミカルトラップ
オイルベーパを捕捉し、逆拡散を防止するために、ITCインレットケミカルトラップ（活性アルミナ充填）をポンプインレットに取り付けます。
用途
・凍結乾燥
・ブレーキラインの真空引き
・TVアルミニウム処理
・真空冶金
・蛍光灯チューブ排気
・薄膜コーティング
・ITハードディスクコーティング
・真空蒸留
・低温容器の排気
・トランス／ケーブルの乾燥
・薬学用凍結乾燥
・宇宙シミュレーション
・結晶成長
