シンプルなルーツ原理に基づくEHメカニカルブースタポンプは、1〜1,000 Paの圧力範囲内で300 m3/h以上の高速排気速度が必要なアプリケーション用ポンプとして高い人気を得てきました。こうしたポンプは大気圧との大きな圧力差を維持するために、背圧ポンプと同時に運転する必要があります。比較的低い圧力で作動するため、メカニカルブースタポンプは背圧ポンプほど高濃度の腐蝕性プロセスガスにさらされることはなく、一般的に連続運転での信頼性は高まります。
高性能排気へのメカニズム
EHメカニカルブースタポンプは高性能、オイルフリー排気機構を備えています。この排気機構の特長は、以下の通りです。
・低騒音、低振動
・堅牢耐蝕構造
・高度なシャフトシール技術を採用 - 真空系へのオイル汚染なし
ハイグレード鋳鉄で製造され、性能実証済みのシャフトシール構造によってポンプのステータへのオイル侵入が防止されます。さらに、内部と外部に腐蝕したり、固着したりするおそれのあるバイパスラインとバイパスバルブが不要なため、保守作業が最小限に抑えられます。
シャフトシールの構造は、ポンプ室に潤滑油が逆流しないよう最適化されています。そのため、最高水準のクリーン度が求められるアプリケーションにおいても、このブースタポンプの性能は維持されます。さらに、極めて高い精度が求められるロータのローブ（突出部）とエンドフェース上で、捕捉された微粒子が蓄積するのが防止されます。
動的にバランスのとれたロータと精密に研摩されたギヤがポンプのスムーズで静粛な運転をもたらし、先進技術を用いた装置メーカーが求める要求を満足しています。
アクセサリ
お客様のアプリケーションにおけるメカニカルブースタポンプの性能を向上させるために、当社の製品レンジから適切なアクセサリをお選びください。
・微粒子や副生成物が発生するプロセスでは、ポンプへの侵入を防ぐために、インレットダストフィルタなどの設置をお勧めします。
・背圧ポンプ（ロータリポンプ）からのオイルミストを捕捉するには、オイルミストフィルタを使用します。このフィルタはポンプが長時間に渡って大きな排気量で運転するときには、特に重要です。
・ポンプに液体が流入する場合は、インレット／アウトレットキャッチポットを使用しその液体を捕捉します。
ハイドロカイネチックドライブ機構付きEHブースタポンプ
EHブースタポンプは独自かつ特許取得済みのハイドロカイネチックドライブを備えています。それがポンプの負荷に合わせた適切なモータ動力をロータへ伝達します。
EHメカニカルブースタポンプの特長
・大気圧からの排気時間が最大で50 %短縮される。
・設置コストとランニングコストの低減
・圧力センサ、バイパス配管、バイパスバルブが不要
・背圧ポンプと共に大気圧から運転が可能
EHブースタポンプは汎用電圧の空冷モータを装備し、実効排気速度（50 Hz時）4,140 m3/hまでのシリーズが取り揃えられています。
EH1200、EH2600、およびEH4200のポンプ本体は水冷式です。
各EHブースタポンプには2種類のバージョンがあり、シールとギヤの潤滑に異なるオイルが使用されています。標準バージョンではウルトラグレード20といった鉱物油が使用されています。F仕様バージョンではPFPE（パーフルオロポリエーテル）オイルが使用され、酸素または他の反応性／腐蝕性ガスを処理するアプリケーションに適します。
大気圧からの排気時間が最大で50 %短縮
ハイドロカイネチックドライブによって、モータの過負荷が防止されるためブースタポンプを背圧ポンプと同時に始動させることが可能になります（大気圧時）。そのためEHブースタポンプは、大気圧始動時点から排気に寄与します。従来型のダイレクトドライブ方式のメカニカルブースタポンプ（一般にチャンバの圧力が1,000 Pa以下に減圧された時点でブースタポンプを始動させた場合）と比較して、合計の排気時間は最大で50 %も短縮されます。下図は2,600 m3/hのメカニカルブースタポンプと255 m3/hの背圧ポンプを用いて2.8 m3のチャンバの排気した場合のデータを示しています。
用途
・半導体プロセス
・真空蒸留
・真空包装
・脱ガス
・薄膜
・真空冶金
・低密度風洞実験
・宇宙開発
・真空含浸
・乾燥および脱ガス
・薬学用凍結乾燥
・CO2レーザ
