製品案内 技術情報 サービス案内 会社概要 採用情報 環境・安全への取り組み お問い合わせ
技術情報
HOME > 技術情報 > 真空ゲージの選定 

真空ゲージの選定

お客様に合った真空ゲージの選定

当社は、真空計測機器と制御製品分野で、ダイヤルゲージからマイクロプロセッサベースのゲージコントローラまでの広範な選択肢を提供しています。各製品には、お客様の幅広い仕様に合うように設計された各種モデルが取り揃えられています。
お客様のアプリケーションに合う適切なゲージを選択する際の最初のステップは、お客様の計測箇所で測定を希望する圧力の範囲を決定することです。下表は、計測機器が対応する広範な圧力範囲を示しています。この表は、ゲージヘッドを選択するために最初に参照するガイドとして使用してください。



次のステップは、圧力計測出力に対する条件を定めることです。
特定レベルの真空に達したことを示すだけが求められている場合(たとえば、バルブを開くか、プロセスをスタートさせるため)、バキュームスイッチまたはアクティブゲージヘッドの単独使用が適切なこともあります。
圧力を局所的に表示したい場合は、ダイヤルゲージが適切と思われます。圧力ディスプレイを計測箇所から離した場所(たとえばコントロールパネル内)に設置する必要がある場合は、必要な機能に応じてTICコントローラ、アクティブゲージディスプレイ、またはアクティブデジタルディスプレイを選択してください(さらに、そうしたディスプレイとコントローラと共に使用する適切なゲージヘッドを選択する必要があります)。
お客様の制御システム(たとえばPLC、PC、および専用マイクロプロセッサ)がシーケンスに関する決定を行うために圧力値を把握する必要がある場合で、独立した真空ディスプレイが不要ならば、アクティブゲージヘッドを適切な電源と制御システム/アナログシステムに接続されたスタンドアローン型トランスデューサとして使用できます。
3番目のステップは、プロセスガスに適し、お客様の真空システムの外部環境への露出に耐える構造のゲージを選択することです。ゲージがそのプロセスに耐えるかどうか、さらにプロセスガスがゲージの計測値に影響を及ぼすかどうかを検討します。たとえば、メカニカルゲージ(真空スイッチ、ダイヤルゲージ、ストレインゲージ、キャパシタンスマノメータ等)による測定は、ガスの組成による影響は受けませんが、他の種類のゲージによる測定は、ガス種に依存します。


様々なガス用の校正

当社の全ゲージヘッドはドライ窒素用に校正されています。ドライエア用の校正はそれと同一です。熱伝導真空計または電離真空計を使用する場合は、お客様のシステムの圧力を正確に表示するためにガス補正を適用する必要があります。詳細は、当社または販売代理店までお問い合わせください。

ゲージヘッドの取り付け

ゲージヘッドはお客様の真空システムへの取り付け方法によって、圧力計測の精度と信頼性が影響を受けます。最大限の性能を引き出すために、以下をお勧めします。
・直線で短いパイプを用いてゲージヘッドをお客様の真空システムに接続
・接続パイプの内径がゲージチューブ自体の径を下回らないものを使用
 > 長く細いまたはアングル付きの接続部は大きな測定誤差を発生する場合がある
・ゲージヘッドはシステムの圧力計測を希望する最も近い位置に接続
・ゲージヘッドの底部は可能な限り下向きになる様に設置
 > ゲージ内部へ異物の落下を防止

アクティブゲージ製品
アクティブピラニゲージ(APG、APGX、APGX-H)

大気圧から10-2Paまでの測定に対応するピラニゲージ、OEMアプリケーション用のセットポイント内蔵。

アクティブインバーテッドマグネトロン(AIM、AIM-X)

100Paから10-7Paまでの範囲で作動。OEMアプリケーション用のセットポイント内蔵。低外部磁場漏洩バージョンもあります。

ワイドレンジゲージ(WRG)

大気圧から10-7Paまでの圧力計測範囲。リニア出力機能とOEMアプリケーション用のセットポイントを内蔵。低外部磁場漏洩バージョンもあります。

アクティブサーモカップル(ATC)

大気圧から10-1Paまでの圧力計測範囲。OEMアプリケーション用のセットポイント内蔵および真空状態のLED表示機能が付いています。

アクティブストレインゲージ(ASG)

200,000〜100Paまでの圧力計測範囲。この種の測定器は極めて丈夫であり、ガスに依存せずに正確な測定値を提供します。

アクティブイオンゲージ(AIGX)

測定レンジが6.6〜6.6×10-8Paまでの小型自給式アクティブイオンゲージ。これらのゲージは脱ガス、自動エミッション電流切り替え、自動フィラメント保護、プッシュボタン調整式セットポイント、およびステータス表示LEDを内蔵しています。

アクティブイオンゲージコントローラ(IGC)

アクティブイオンゲージコントローラは1個または2個の電離真空計(チューブまたはヌードイオンゲージ)だけでなく、高圧インターロックゲージを作動させる能力を備えています。計測範囲は、5×10-1から2×10-9Paまでで、3レベルのエミッション電流と電子ボンバードメント脱ガス機能を装備しています。

Technical infomation

技術情報TOPページドライおよびロータリポンプ ターボおよび拡散ポンプ 除害装置 真空ゲージ バルブフィッティング 選定ガイドおよび換算表 製品案内
Copyright