真空システムを設計する時点でのバルブの選択は、運転上の特定パラメータに対する必要性によって決まります。後の表は、当社の真空バルブの基本的な性能データをまとめたものです。お客様真空のシステム用のバルブを選定するときは、この表に記載されている項目を参照してください。

作動方式

手動、ソレノイド、または空圧式のいずれかから選択します。お客様システムの設計と、マシンにどのような設備が備わっているかによって決まります。

気密性

バルブ全体とシートにおける最大漏れ率を指し、バルブの選定はお客様のシステム真空運転レベルによって決まります。

ダーティーシステム許容度

真空バルブは、「ダーティーな（不純物を含んだ）」真空システム内では気密性を維持する能力に差が生じます。お客様のシステムが塵や他の微粒子を発生するか、含んでいる場合には、耐性の高いバルブを選定してください。

サイズ

お客様の真空パイプラインのサイズに適したバルブを選択します。排気速度と排気量を高水準で維持するためには、極力小さい径のバルブや配管を使用しないでください。

コスト

お客様の真空システムを設計時にコストが限定要因になる場合は、最大限の性能を発揮する最低コストのバルブを当社の製品群からお選びください。

圧力レンジ

最大と最小の両圧力定格は、特に真空システムが大気圧以上に加圧されることがある場合は重要です。

ポートの構成

バルブの位置によってインラインまたはアングルバルブが必要となります。

最大ベーク温度

お客様のシステムにベーキングを行う場合、または高温で作動させる場合には、重要なパラメータです。

寿命

MTTFは高い頻度で開閉するソレノイドまたは空気圧作動式バルブにとって、保守間隔を決める目安として重要です。

相対コンダクタンス

高流量またはポンプ立ち上げ時間が重要な用途では、高コンダクタンスバルブを選択します。

ポジション表示

お客様の制御システムの一環として、バルブのポジションをローカル表示または遠隔表示する必要が生じることがあります。

フェールセーフ

フェールセーフ作動を必要とするならば、ソレノイドバルブまたは空圧バルブをお選びください。

耐蝕性

腐蝕性のガスを使用するアプリケーション用に、各種ステンレス製バルブが取り揃えられています。

	ベローズシール アルミボディ	ベローズシール ステンレスボディ	Oリングシール アルミボディ	ソフト スタート	ダイヤフラム シール
アクチュエータ*1	M、E、P	M、E、P	P	P	M
リークレート （Pam3/s）	＜1×10-10	＜1×10-10	＜1×10-10	＜1×10-10	＜1×10-7
不純物耐性*2	3	3	4	3	5
接続フランジ （NW）	10/16/25/40	10/16/25/40/ 50	10/16/25/40	25/40	5(SC)/10/16 25/40
コスト比較	中	中	低	中	低
使用圧力範囲 （Pa）*3	2.1×105〜 1×10-7	2.1×105〜 1×10-7	2.1×105〜 1×10-7	2.1×105〜 1×10-7	9×105〜 1×10-3
ポート位置	アングル、 ストレート	アングル、 ストレート	アングル、 ストレート	ストレート	ストレート
最大ベーク温度 （℃）	100 *5	100 *5	100	100	60
MTTF（回）*7	＞500,000 *8	＞500,000 *8	＞1,000,000	＞1,000,000	−
コンダクタンス	中	中	中	中	小
インジケータ （有無）	有	有	有	有	有
閉鎖速度 （即／調節）	即（E、P） 調節（M）	即（E、P） 調節（M）	即	即	調節
耐食性（有無）	無	有	有	無	無

	ボールバルブ	3方向バルブ	ゲートバルブ	バタフライ バルブ	ベントバルブ	ニードル バルブ
アクチュエータ*1	M	M、P	M、P	M、P	M、E	M
リークレート （Pam3/s）	＜1×10-7	＜1×10-10	＜1×10-10	＜1×10-10	＜1×10-8	＜1×10-8
不純物耐性*2	5	3	5	2	1	1
接続フランジ （NW）	16/25/40	10/25	40/50 ISO/CF	ISO63/100/ 160/250	5(SC)/10	10
コスト比較	低	中	高	中	低	中
使用圧力範囲 （Pa）*3	5×105〜 1×10-4	2.1×105〜 1×10-6	1×105〜 1×10-7	3×105〜 1×10-7	1×105〜 1×10-5	2.1×105〜 1×10-4
ポート位置	ストレート	3方向	ストレート	ストレート	アングル（M）、ストレート（E）	-
最大ベーク温度 （℃）	100	-	200 （バルブ閉）	200 *6	70	70
MTTF（回）*7	30,000	100,000	30,000	150,000	100,000	-
コンダクタンス	大	小	大	大	-	-
インジケータ （有無）	有	有	有	有	無	無
閉鎖速度 （即／調節）	調節	即（P） 調節（M）	即（P） 調節（M）	どちらでも可	即（P） 調節（M）	-
耐食性（有無）	有	無	有	有	無	無

*1　M=手動 E=電磁 P=空圧
*2　1〜5段階 5は不純物耐性が高い
*3　大気圧以上の圧力にはコーシールまたはトラップドOリングを使用
*4　コーシール使用
*5　電磁バルブを除く
*6　アクチュエータを除く
*7　Mean Time to Failure
*8　バルブサイズによる